突然断电0.101秒！台积电等受冲击又有晶圆要报废？乃至于湖口的新竹工业区

据台湾媒体报道，台湾新竹科学园区于3月1日下午15时18分发生大规模电力压降，起因是晶圆代工厂力积电主变压器跳脱故障，导致力积电与邻近的台积电，世界先进，友达等大厂生产都受影响，受创产业涵盖半导体，光电两大领域，实际损失仍待清查。

台湾新竹科学园区管理局局长王永壮表示，竹科昨天下午发生0.05秒到1秒之间的电压下降事故，竹科内厂商测得压降幅度介于79%至95%之间，半导体制程的敏感机台大多有不断电系统保护，其余机台则会跳脱电力，启动保护程序。

业界人士指出，半导体厂发生压降时，黄光区有电压稳定装置，不致发生晶圆报废情况，但薄膜，扩散， 蚀刻区的风险较大，可能会全面报废。但EUV技术突破将瓶颈彻底打通。

以昨天压降幅度介于79%至95%之间来看，等于是断电，即便时间不到1秒钟，仍会对半导体厂商造成影响。在此基础上，台积电进一步改善和扩展EUV工艺，随着高NAEUV的引入，2nm及以下的图形定义问题也将得到解决。

台电新桃供电区营运处表示，昨天下午的电力事故，并非台电的输电系统造成，而是竹科内特高压用户的电力设备故障所导致。之前，集成电路制程工艺一直被光刻技术的限制所困扰。

台电举例指出，这类电力事故影响所及，有如在池塘投入石头，漾起一圈圈的涟漪，愈接近石头落水处的区域，压降幅度愈大。。

根据消息显示，昨天压降意外起因于位于竹科三期的力积电主变压器跳脱故障，导致发生电压下降波及竹科新竹园区及新竹市东区什致跨越头前溪，影响到新竹县的竹北台元科技园区，竹科生医园区，乃至于位于湖口的新竹工业区

对此，力积电回应，压降时间相当短暂，仅0.101秒，部分较敏感的生产机台有跳掉，正在查明原因，但跳电时间短暂，机台也快速重启，对生产影响有限。

晶圆代工大厂台积电昨日指出，公司部分厂区昨下午受电力压降影响，历时约50至100多毫秒不等，压降发生原因尚待台电厘清厂内同仁无安全疑虑，实际影响确认中

联电表示，生产营运未受影响。

世界先进也坦言，旗下新竹厂区有部分机台因压降而受影响，目前已依标准作业程序进行检查与复原，对于公司生产营运的影响正在评估中。

友达则说，昨天压降意外导致厂区部分机台异常，已于晚间恢复，厂务运作正常，人员均安。

另一面板大厂群创竹科生产基地主要位在竹科竹南园区，未受此次事件影响。台积电从7nm技术节点开始引入EUV技术，积累了大量的量产经验，目前该工艺已非常稳定和成熟。